Nanolitografía de oxidación local en paralelo : instrumento, cinética y nanofabricación
Author
Sánchez Losilla, NuriaEntity
UAM. Departamento de Física AplicadaDate
2010-07-20Subjects
Nanotecnología - Tesis doctorales; FísicaNote
Tesis doctoral inédita leída en la Universidad Autónoma de Madrid, Facultad de Ciencias, Departamento de Física Aplicada. Fecha de lectura: 20-07-2010Files in this item
Google Scholar:Sánchez Losilla, Nuria
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