Películas amorfas de SixCyN depositadas mediante ECR-PECVD
Publisher
Sociedad Española de Cerámica y VidrioDate
1999Citation
[Póster] VI Reunión Nacional de Materiales celebrado en San Sebastián España en 1999Subjects
Elipsometría espectroscópica; ECR-PECVD; SiCNNote
Versión electrónica del poster presentado en la VI Reunión Nacional de Materiales, celebrado en 1999 en San SebastiánPublicado posteriormente en un artículo del Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio 39.4 (2000): 453-457
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