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dc.contributor.authorBarbadillo, L.
dc.contributor.authorHernandez, M.J.
dc.contributor.authorCervera Goy, Manuel 
dc.contributor.authorPiqueras, Juan
dc.date.accessioned2014-02-18T10:21:50Z
dc.date.available2013-10-18
dc.date.issued1999
dc.identifier.citation[Póster] VI Reunión Nacional de Materiales celebrado en San Sebastián España en 1999
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10486/13949
dc.descriptionVersión electrónica del poster presentado en la VI Reunión Nacional de Materiales, celebrado en 1999 en San Sebastián
dc.descriptionPublicado posteriormente en un artículo del Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio 39.4 (2000): 453-457
dc.format.mimetypeApplication/pdf
dc.language.isospa
dc.publisherSociedad Española de Cerámica y Vidrio
dc.subjectElipsometría espectroscópica
dc.subjectECR-PECVD
dc.subjectSiCN
dc.titlePelículas amorfas de SixCyN depositadas mediante ECR-PECVD
dc.typeother
dc.typeconferencePoster
dc.rights.accessRightsopenAccessen
dc.authorUAMPiqueras Piqueras, Juan (259291)
dc.facultadUAMFacultad de Ciencias


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