UAM_Biblioteca

View Item 

Películas amorfas de SixCyN depositadas mediante ECR-PECVD

Author
Barbadillo, L.; Hernández, María Jesús; Cervera Goy, Manueluntranslated; Piqueras, Juan
Publisher
Consejo Superior de Investigaciones Científicas
Date
2009
Citation
Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio 39 (2000): 453-457
ISSN
0366-3175
Subjects
SiCN; ECR-PECVD; OES; FTIR; Elipsometría espectrópica
URI
http://hdl.handle.net/10486/13963
Show full item record

Files in this item

Thumbnail
Size
493.7Kb
Format
PDF

Google™ Scholar:Barbadillo, L. - Hernández, María Jesús - Cervera Goy, Manuel - Piqueras, Juan

This item appears in the following Collection(s)